Дмитрий Григорьевич Крутогин, Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
- Автор: Дмитрий Григорьевич Крутогин
- Жанр: Педагогика
- Страницы: 90
Краткое описание книги
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
Скачать книгу Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий:
Похожие книги
Комментарии (0)




