Ю. С. Боброва, Оценка погрешности позиционирования прецизионного оборудования

Рассмотрен технологический процесс изготовления многослойных печатных плат, позволяющий сформулировать требования к качеству выполнения операций, связанных с точным позиционированием инструмента. Приведены сравнительный анализ прецизионных приводов, их состав и ожидаемая точность позиционирования. Для студентов, обучающихся по специальностям «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».