А. Т. Каменихин, Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды

Автор: А. Т. Каменихин
Жанр: Разное
Страницы: 64

Краткое описание книги

Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н. Э. Баумана.