Владимир Петрович Астахов, Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
- Автор: Владимир Петрович Астахов
- Жанр: Техническая литература
- Страницы: 18
Краткое описание книги
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
Скачать книгу Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев:
Похожие книги
Комментарии (0)




