На главную » Учебная литература » Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Светлана Аркадьевна Козубняк, Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники


Скачать в fb2 формате
Скачать в ePub формате
Краткое описание книги

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Скачать книгу Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники:

Выберите формат:

Похожие книги

Странное яблоко

Странное яблоко

Ольга Николаевна Новикова
Ручной труд. Уроки в 3 классе учреждения, реализующего адаптированные основные общеобразовательные программы

Ручной труд. Уроки в 3 классе учреждения, реализующего адаптированные основные общеобразовательные программы

Светлана Олеговна Авдюкова
Сказочные животные. Раскраски с дорисовыванием. Для вырезания и аппликации

Сказочные животные. Раскраски с дорисовыванием. Для вырезания и аппликации

Марина Новикова М.
На творческой волне. Сборник сценариев различных мероприятий с детьми, подростками и педагогами

На творческой волне. Сборник сценариев различных мероприятий с детьми, подростками и педагогами

Ольга Николаевна Петрыкина
Семь чудес света. Дерзкие реконструкции

Семь чудес света. Дерзкие реконструкции

Василиса Бессонова
Комментарии (0)
Комментировать