На главную » Владимир Петрович Астахов » Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев

Владимир Петрович Астахов, Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев


Скачать в fb2 формате
Скачать в ePub формате
Краткое описание книги

В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.

Скачать книгу Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев:

Выберите формат:

Похожие книги

Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа

Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа

Владимир Петрович Астахов
Основы технологии электронной компонентной базы

Основы технологии электронной компонентной базы

Владимир Петрович Астахов
Комментарии (0)
Комментировать