Книги автора «Владислав Юрьевич Васильев»

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники

Современное производство изделий микроэлектроники

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста. Учебное пособие для вузов